光谱共焦测厚
采用光谱共焦位移传感技术的高精度厚度测量设备，适合透明/半透明材料的非接触式精密测厚，尤其适用于精密涂布和光学级产品检测。
光学检测系列
光谱共焦测厚
采用光谱共焦位移传感技术的高精度厚度测量设备，适合透明/半透明材料的非接触式精密测厚，尤其适用于精密涂布和光学级产品检测。
核心特点
光谱共焦原理
亚微米级测量精度
透明/半透明材料适用
多层膜厚同时测量
非接触无损检测
高采样频率
支持在线/离线模式
数据软件分析系统
技术参数
| 参数项目 | 指标 |
|---|---|
| 分辨率 | 0.005μm |
| 工作温度 | 10-40℃ |
| 工作距离 | 1-50mm（可选） |
| 测量原理 | 光谱共焦位移法 |
| 测量精度 | ±0.05μm |
| 测量范围 | 0.1μm - 10mm |
| 电源要求 | 24V DC |
| 适用材料 | 玻璃、薄膜、涂层、晶圆等 |
| 采样频率 | 最高30kHz |
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